NEO HB
Mit einer Post-Bonding-Genauigkeit von ± 1 µm im Stand alone-Modus oder vollautomatisch ist die NEO HB ein Flip-Chip-Bonder, konzipiert für die Produktion.
Mit der Kombination von hoher Präzision, Flexibilität und sehr kurzen Zykluszeiten, eignet sie sich ideal für Hybrid-/Direktbonding (Metall-Metall oder Oxid-Oxid) bei Raumtemperatur und geringer Kraft.
Key Benefits
Vollautomatische Funktionen
Benutzerfreundliche Oberfläche für mehrere Anwendungen und Prozesse
Closed-Loop-System, um eine hohe Wiederholungsgenauigkeit der Aktionen zu gewährleisten
Kompatibel vom Stand alone-Modus bis zum vollautomatischen Modus
Kosteneffiziente Lösung
Schnittstelle SECS/GEM, um sich mit dem Host-Computer zu verbinden
Applications
Hybrid / direct bonding (room temperature)
Flip-chip bonding, die bonding
Chip-to-wafer, wafer level applications
Chip-to-substrate bonding
Pick & Place
Memory stacking
3D IC